第57章 我们就走这条路[第1页/共2页]

一条清楚的头绪刹时贯穿。

是极慢！不是慢。比起光刻来，需求的时候，多了起码一百倍。

跟着工艺的晋升，光罩的用度也在飞速增加，从几百万美圆，到上千万美圆，在新工艺的初期，代价乃至会达到上亿美圆。

然后电子束用纳米套刻的体例，将模板图形套刻在晶圆上，以后电子束再逐点扫描，将图形补全。

陈飞来回巡查着，终究将目光逗留在电子束光刻机上。

波是非，就更轻易开辟出先进制程。

每一款芯片，都必须为它制作一组光罩组。哪怕它们没有破坏，到了下一款芯片，这些光罩组，都不能利用了，必须为新芯片制作新的光罩。

连学志点头道：“陈飞，你的了解大抵没错。”

他说道：“传授，电子束光刻机才是关头啊。”

不过陈飞不想穷究这个题目，还是那句话，不管RB用的究竟是甚么技术，他已经决定用电子束！

一样的，如果陈飞把握了这项技术，那么在制程合作中，就会敏捷反超。EUV的波长很短，只要13.5nm，intel和台积电都还没用上EUV呢。但是电子束的波长更短！

陈飞诚心肠问道：“多谢连传授指导，我另有一个迷惑，就是无尘室。晶圆厂的无尘室，仿佛不是纯真为了包管晶圆不受灰尘滋扰，同时也是为了包管良率。不消无尘室，良率会不会出题目？”

为甚么不需求分外光罩，因为用的是能够反复利用的光罩库。

不过也不需求体味，只要能买到设备就行了。

陈飞俄然笑了，果断地说道：“不管RB人是不是用电子束，我已经决定要用它了！我们就走这条路！传授，我需求一支完整的芯片工艺开辟团队，您能不能帮我招募，如果您能领衔参与，那就更好了。”

但是换作其他芯片厂，失利一次就元气大伤，失利两次差未几就要停业了。

陈飞终究把大抵的题目想通了。

说到前面，连学志竟然自我思疑起来。

并且在制程上，能够中转3nm！

事情终究有了端倪，陈飞略微松了口气。

连学志笑道：“浅显的晶圆厂，需求用无尘室，主如果因为他们的工序太多了，差未几有200到300道工序。但是用电子束，20道摆布便能够了。无尘室在这里不是关头。”

博康收买了英国NBL电子束光刻机，并且把出产线搬到了海内。

苹果财大气粗，能够流片2，3次，然后选出最好的定型。

目前统统的题目，都集合在电子束光刻机身上。

光刻部分，就完成了！

为甚么一次只出产一块0.5寸的单芯片，因为是电子束，哪怕是12寸晶圆，它也得一个一个去刻。以是没需求用12寸，0.5寸单芯片就充足了。

但是RB的速率，是1分钟1片，只比浅显光刻略微多了一点，实在太快了，让人不敢信赖誉的是电子束。这也是独一冲突的处所。

他冲动地走来走去，过了一会儿，才将思路重新清算清楚。

以是，不要抱怨芯片设想保守，不保守不可。

连学志神采也严厉起来，说道：“是的，电子束很好，但是它太慢了，之前一向只能在尝试室中利用。RB人的数据却分歧，他们的速率，起码是1分钟1片的速率，太夸大了，我不晓得他们是如何做到的。或许他们不是用电子束？”

陈飞直接跳了起来，要不是连学志就在面前，要保持形象，他直接想爆粗口了。

如果RB人真的如此做，那么在接下来的合作中，他们的反攻将会非常凌厉。

陈飞看着全息影象中的迷你晶圆厂运转，不得不赞叹，这个构思实在太奇妙了。