第280章 检验 （上）[第1页/共2页]

这时候就看出来火把打算的好处了，别看5微米的线宽后进，但港基集电已经完整吃透了整条技术线上的统统环节。

“大少，都準备好了，是不是开端尝试”

把晶圆丢水裡光刻看似简朴，但已经触及到光刻机光源功率调剂和事情台运转速率之间的调和，将来一台高精度光刻机的安装调剂测试起码需求一年时候，固然有外洋用心设卡和事情效力不高的原因，但也足以申明这玩意究竟会有多费事。

这一白日的时候畴昔，一个颠末考核的可靠技术小组已经建立，晶片的中试环节如果用互联网期间的说法来描述约莫和不删档公测近似，除了不能上量和保持随时能够整改以外，和批量生產没什麼本质辨别。

由於尝试的原因，车间裡成群的物料小车都已经停掉，只剩下一台看起来孤零零的红色光刻机停在车间的一侧。

光刻以后的显影工序本身就需求用纯水冲刷显影液，是以只要不选用遇水溶解的光分化型光刻胶，长久的尝试性生產光刻胶应当不影响晶片的终究成品，当然，这些都是技术大佬三人组实际上的料想，终究如何还需求实际施动来考证。

“大少你来按啟动按钮吧。”

不过对於尝试室中的眾人来讲，检测这一步几近就充足鉴定新体例的存亡了，在电子显微镜下成与不成一目瞭然。

此时的科技园已经进入了外松内紧的状况，幸亏由於1000所的原因，这类环境对於已经见多识广科技园的员工来讲不算什麼非常。

此次中试港基集电抽调了一条已经能普通运转的5微米生產线，临时用玻璃做了一个装载轻水的容器放在事情台上，技术大佬三人组一起上阵带著十多个技术职员调剂了光刻机的功率，由於不需求批量生產的原因，较为费事的事情台运转速率调剂能够不动。

港基集电的中试车间已经粗糙的改革了一台设备，筹算直接对梁远的设法停止考证。

“不消了，不消了，谁离得近谁按，要不是有点心急，我都不来这裡凑热烈了。”

暴光以后是显影，显影以后是坚膜，再以后工艺进入了检测法度，这步工艺是对晶圆的显影成果停止检测，合格的晶圆进入后续的刻蚀等流程，分歧格的晶圆在洗濯掉队入最后流程重新来过。

由於此次尝试对环境的要求相称高的原因，梁远和双胞胎都得穿最顶级的防尘服，带密封的玻璃护目镜全部头罩把脑袋都扣上呼吸都被东西过滤的那种。

问话的寧婉嘉有点不美意义的吐了吐小舌，不过因为防尘头套的原因也没人瞥见。

梁远是啥都不懂，只能看著王欣坐在检测设备前通过电子显微镜察看著方才出炉不久的晶圆。

两个丫头对梁远搞出来的东西极度的猎奇，谨慎翼翼的跟在梁远身后，眼神灵动的看来看去。

梁远用饭和消毒的这段工夫，王欣等人已经把轻水灌进了事情台上的容器，晶圆也涂好了光刻胶放进了轻水当中。

1000所能搞的东西很多，翁承基天然也是代入了靠啥吃啥的定律，以翁承基目前晓得的1000所研发打算而言，一旦新设备问世多了不敢说设备一个连帮手做定型测试必定没题目，远嘉安保职员本来就本质一流，如果设备也一流了拿下个大比武第一还不玩似的。

“光刻机的生產道理和照附近似属於长久暴光啊，被人类瞥见了就是暴光过分还怎麼生產晶片”

远嘉某种程度上还真有军队三產的属性，从预备役角度搞个民兵团编製绝对合适当前政策，普通来讲民兵的预算归处所、人武部、企业三家协商处理，设备由军区调剂或人武部采办，设备范围是共和国现役制式设备。